高频放电离子源的一些特性的研究

  • 摘要: 本工作对影响模克(Moak)型高频离子源离子流强度和稳定工作的多种因素进行了实验。在实验中着重研究了吸出系统部件加工质量的影响,测得了一些定量的结果,并明确了吸出系统部件加工的要求。

     

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